ÈÈÏߣº021-56056830,66110819
ÊÖ»ú£º13564362870
ÈÈÏߣº021-56056830,66110819
ÊÖ»ú£º13564362870
2½á¹ûÓëÌÖÂÛ
2.1Æ÷¼þÖƱ¸¼°PPy/GOµÄÐÞÊÎ
ͼ1ËùʾΪÉñ¾Î¢µç¼«ÕóÁÐоƬµÄÕûÌåЧ¹ûͼºÍµç¼«ÖÐÐÄ·Å´óͼ¡£ÓÉͼ¿ÉÖª£¬×ñÑ´ËÁ÷³ÌÖÆ×÷³öµÄµç¼«ÕóÁÐоƬÒýÏßÇåÎú¾ùÔÈ£¬µç¼«ÕóÁбíÃæÎÞ¸¡Ôü£¬Ñ¡Ôñ±È½ÏºÃ¡£ÕâÖÖÖ±¾¶20¦Ìm¡¢¼ä¾à150¦ÌmµÄ60ͨµÀÉñ¾Î¢µç¼«Îª¸ßͨÁ¿£¬³¤ÆÚÎÞËð¼ì²âÉñ¾ÍøÂç¡¢µ¥Ï¸°ûµÄÉñ¾µçÉúÀíºÍµÝÖʵ绯ѧ¼ì²âÌṩÁË¿ÉÄÜ¡£
ͼ1Éñ¾Î¢µç¼«ÕóÁÐоƬ
ÔÚ60ͨµÀµÄÉñ¾Î¢µç¼«ÕóÁÐÉÏ£¬Ñ¡Ôñ5¸öÉñ¾Î¢µç¼«£¬Ê¹Óò»Í¬µçÁ¿Ãܶȣ¬¾ù³É¹¦µØ¶¨Ïò¾ÛºÏÉú³ÉPPy/GO£¬Èçͼ2Ëùʾ¡£Í¼2aΪÔÚ0.3 C/cm2Ìõ¼þϵĵ羵ɨÃèͼ£¬ÔÚÑõ»¯Ê¯Ä«Ï©µÄƬ²ã½á¹¹¼°±íÃæµÄ¾ÛßÁ¿©¿ÅÁ£(Çò×´ÄÉÃ׿ÅÁ£)¾ùÇåÎú¿É¼û¡£
ͼ2ÔÚƽÃæ΢µç¼«ÕóÁÐÉÏÖƱ¸µÄ¾ÛßÁ¿©Ñõ»¯Ê¯Ä«Ï©
2.2 PPy/GOµÄ×迹ÌØÐÔ
Éñ¾Î¢µç¼«×迹µÄ´óС¶ÔÓÚÉñ¾µçÉúÀí¼ì²âÓÐÖØÒªµÄÒâÒ壬ÓÈÆäÊÇ1 kHz´¦µÄ×迹ԽС£¬Ô½Äܹ»»ñµÃÐÅÔë±È¸ßµÄ¶¯×÷µçλ¡£ÕâÊÇÒòΪÉñ¾ÐźŶ¯×÷µçλµÄ·¢·ÅÊǺÁÃ뼶µÄ£¬ÈôÔÚ1 kHz×óÓÒµÄ×迹ֵºÜ´ó£¬»áµ¼ÖÂÓÐЧµÄ¶¯×÷µçλÑÍûÔÚÔëÉùÖС£Èçͼ3ËùʾµÄÊý¾Ý±íÃ÷£¬ÔÚʹÓÃ0.3 C/cm2×÷Ϊµç¾ÛºÏÌõ¼þµÄÉñ¾Î¢µç¼«×迹ֵ(1 kHz)Ã÷ÏÔСÓÚÂãPtµç¼«¡£×迹ֵ´Ó100 k¦¸Ï½µÖÁ7.94 k¦¸£¬½µ·ù´ï92.1%£¬¶ÔÉñ¾µçÉúÀíÐźź͵绯ѧÐźŵļì²â¶¼¾ßÓÐÖØÒªµÄÒâÒå¡£
ͼ3Â㲬µç¼«ºÍPPy/GOÐÞÊεĵ缫×迹Æ×ͼ
2.3 PPy/GO¶Ô¶à°Í°·µÄÑ»··ü°²ÏìÓ¦
²»Í¬µçÁ¿Ãܶȵç¾ÛºÏ³ÉµÄPPy/GOÓв»Í¬µÄµç»¯Ñ§ÐÔÖÊ¡£Í¼4aΪÐÞÊÎÓÐPPy/GOµÄÉñ¾Î¢µç¼«ÔÚ50¦ÌM DAÈÜÒºÖеķü°²ÏìÓ¦£¬ÆäÖаüÀ¨ÂãPtµç¼«£¬Ê¹ÓÃ0.3 C/cm2ºÍ0.8 C/cm2µçÁ¿ÃܶÈÐÞÊεÄÉñ¾Î¢µç¼«µÄÑ»··ü°²ÇúÏß(CVÇúÏß)£¬Bare Pt¡ª(¡ö)£¬0.3 C/cm2¡ª(¡ð)£¬0.8 C/cm2¡ª(¡÷)£¬·Ö±ðΪPPy/GOµÄµç³Á»ýÌõ¼þ¡£Í¼4bΪ²»Í¬µç³Á»ýÌõ¼þϵĸ´ºÏ²ÄÁϵĵçºÉÈÝÁ¿¡£¶ÔÓÚ²ÉÓÃÑ»··ü°²·¨»ñµÃµÄCVÇúÏߵĵçºÉÈÝÁ¿Îª£º
ʽÖУ¬vΪɨÃèËÙÂÊ£»?Ϊµçλ¡£ÓÉʽ(1)¿ÉÖª£¬CVÇúÏßËùΧÃæ»ý¼´ÎªµçºÉÈÝÁ¿¡£Í¼4b±íÃ÷Ëæ×ÅʹÓõçÁ¿ÃܶȵÄÔö¼Ó£¬¾ÛºÏ³ÉµÄPPy/GOµÄµçºÉÈÝÁ¿ÔÚ²»¶ÏÔö¼Ó¡£¼´Ëæ×ŵçÁ¿ÃܶȵÄÔö¼Ó£¬³Á»ýµÄPPy/GOʹÉñ¾Î¢µç¼«±íÃæ´Ö²Ú¶È²»¶ÏÔö¼Ó£¬¼´±È±íÃæ»ý²»¶Ï¼Ó´ó£¬¶ÔÓÚÉñ¾Ðźżì²âÖÐÌá¸ßÐÅÔë±ÈºÍÐźŵÄÁéÃô¶ÈÓкܴóµÄ°ïÖú¡£
ÓÉͼ4a¿É¿´³ö£¬¶Ô50¦ÌM DAÏìÓ¦µçÁ÷×î¸ßµÄÊÇ0.8 C/cm2£¬ÂãPtµç¼«ÏìÓ¦ºÜµÍ¡£³¬Î¢µç¼«(Ö±¾¶Î¢Ã×¼¶)±íÃæµÄÎïÖÊÀ©É¢ÓÉһάÀ©É¢×ª±äΪ¶àάÀ©É¢£¬ËùµÃµÄµçÁ÷ÔÚ¶Ìʱ¼äÄÚ¼´ÄÜ´ïµ½ÎÈ̬£¬¶øÇÒ¾ßÓкܴóµÄµçÁ÷Ãܶȡ£Òò´Ë£¬³¬Î¢µç¼«µÄCVÇúÏßΪ¾µäµÄZÐΣ¬ÎÞÃ÷ÏÔµÄÑõ»¯·åÓ뻹Է塣0.8 C/cm2µÄ¾ÛºÏÎïÑõ»¯µçÁ÷¹Õµã³öÏÖÔÚ0.45 V£¬¶ø0.3 C/cm2µÄPPy/GO±¡Ä¤Ñõ»¯µçÁ÷¹Õµã³öÏÖÔÚ0.38 V¡£Ñõ»¯µçѹԽС£¬ÄÜÅųýÆäËûÎïÖʵĸÉÈÅ£¬Ôò˵Ã÷ÔÚ0.3 C/cm2Ìõ¼þÏÂÉú³ÉµÄPPy/GO¶ÔDAµÄÑ¡ÔñÐԺᣴËÍ⣬0.3 C/cm2µÄPPy/GOÁéÃô¶ÈÏà¶ÔÓÚÂãPtµç¼«Ò²ºÜ¸ß£¬×ÛÉÏËùÊö£¬Ñ¡Ôñ0.3 C/cm2Ϊ×î¼ÑµÄµç¾ÛºÏÌõ¼þ¡£
ͼ4×î¼Ñµç³Á»ýÌõ¼þ
3½áÊøÓï
±¾ÎIJÉÓÃMEMS¹¤ÒÕÖÆ×÷ÁË60ͨµÀÉñ¾Î¢µç¼«ÕóÁÐоƬ£¬ÀûÓüÆʱµçѹ·¨ÔÚ¶àͨµÀÉñ¾Î¢µç¼«ÕóÁÐÉ϶¨Ïòµç¾ÛºÏ³ÉPPy/GO¸´ºÏ²ÄÁÏ£¬²¢Í¨¹ýÑ»··ü°²É¨Ã跨ȷ¶¨ÁË×î¼ÑµÄµç¶ÆÌõ¼þ¡£ÔÚ¸ÃÌõ¼þϵÄ΢µç¼«¶ÔDAÏìÓ¦ÁéÃô¶È¸ß£¬²¢ÓµÓнϵ͵Ä×迹ֵ¡£±¾ÎÄÌá³öµÄ¾ÛßÁ¿©Ñõ»¯Ê¯Ä«Ï©ÐÞÊεĶàͨµÀÉñ¾Î¢µç¼«ÕóÁУ¬ÓÐÍûÔÚÉñ¾Ë«Ä£ÐźÅ(Éñ¾µç»¯Ñ§ÐźźÍÉñ¾µçÉúÀíÐźÅ)µÄ¼ì²âÖеõ½Ó¦Óá£